|
cleanroom
standards - class comparison
HEPA/ULPA
- classification
|
US
Fed.Std 209E 1992
|
ISO.EN
FDIS 14644-1
|
Japan
JACA 1989
|
VDI
2083 Part 3 1990
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AFNOR
NFX 44-101
|
BS
5295 1989
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English
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-
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1
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--
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--
|
--
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--
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|
--
|
--
|
--
|
--
|
--
|
--
|
|
--
|
2
|
2
|
0
|
--
|
--
|
|
M1
|
--
|
--
|
--
|
--
|
--
|
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M1.5
1
|
3
|
3
|
1
|
--
|
C
|
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M2
|
--
|
--
|
--
|
--
|
--
|
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M2.5
10
|
4
|
4
|
2
|
--
|
D
|
|
M3
|
--
|
--
|
--
|
--
|
--
|
|
M3.5
100
|
5
|
5
|
3
|
4,000
|
E,(F)
|
|
M4
|
--
|
--
|
--
|
--
|
--
|
|
M4.5
1,000
|
6
|
6
|
4
|
--
|
G,(H)
|
|
M5
|
--
|
--
|
--
|
--
|
--
|
|
M5.5
10,000
|
7
|
7
|
5
|
400,000
|
J
|
|
M6
|
--
|
--
|
--
|
--
|
--
|
|
M6.5 100,000
|
8
|
8
|
6
|
4,000,000
|
K
|
|
M7
|
--
|
--
|
--
|
--
|
--
|
|
M7.5
1,000,000
|
9
|
9
|
--
|
40,000,000
|
L
|
|
